3.2.1. Reference Run概要

工具正常安装好后，执行测量移动并保存标准数据。该标准数据将作为一种比较数据用于工具校准。要新建这种标准数据，就需要执行Reference run。各标准数据按测量dimension设置可分为2D、3D和5D。2D执行1次的double-circle测量；3D执行1次的double-circle、oscillation测量；5D执行1st double-circle、oscillation、2nd double-circle测量。