1.1. 真空机器人专用传感器监测功能

通过使用Ethernet/IP通信，监测并控制安装于真空机器人的传感器，如机器人内部温度传感器（以下简称“温度传感器”）、冷却空气流量传感器（以下简称“流量传感器”）、Glass传感器（以下简称“光纤传感器”）等的状态。

为此，此功能由设置不同传感器规格的功能和显示状态信息的功能组成。

设置传感器规格时，可设置不同传感器类型的数量，和不同传感器的上限值/下限值及模式。