4.1. 错误 消息

4.1. 错误 消息

 

 

■ 代码:	E21031
■ 内容:	真空机器人专用温度传感器的测量值低于标准值。
■ 原因:	由真空机器人专用温度传感器测量的温度值低于最小设定值。
■ 措施:	请在真空机器人传感器设置对话框中确认相关设置是否正常后，若发现异常请及时加以修改。

 

■ 代码:	E21032
■ 内容:	真空机器人专用温度传感器的测量值高于标准值。
■ 原因:	由真空机器人专用温度传感器测量的温度值高于最大设定值。
■ 措施:	请在真空机器人传感器设置对话框中确认相关设置是否正常后，若发现异常请及时加以修改。

 

■ 代码:	E21033
■ 内容:	真空机器人专用流量传感器的测量值低于标准值。
■ 原因:	由真空机器人专用流量传感器测量的流量值低于最小设定值。
■ 措施:	请在真空机器人传感器设置对话框中确认相关设置是否正常后，若发现异常请及时加以修改。

 

■ 代码:	E21034
■ 内容:	真空机器人专用流量传感器的测量值高于标准值。
■ 原因:	由真空机器人专用流量传感器测量的流量值高于最大设定值。
■ 措施:	请在真空机器人传感器设置对话框中确认相关设置是否正常后，若发现异常请及时加以修改。