3.2. 传感器规格设置

3.2. 传感器规格设置

 

1.  进入路径

- 只有高于工程师模式才允许进入。

- F2.系统 -> 3:机器人参数 -> 12:系统维护 -> 4:真空机器人传感器设置

 

2.  设置界面

 

图3.2 传感器设置对话框

 

 

3.  项目说明及设定值范围

1 温度传感器的数量

è   设置范围:0 ~ 8

 

2 光纤传感器的数量

è   设置范围:0 ~ 8

 

3 流量传感器的数量

è   设置范围:0 ~ 4

 

4 温度传感器的上限值/下限值

-    具体范围根据温度传感器类型的不同而不同

 

表3‑1 按温度传感器类型分类的范围信息

温度传感器类型	温度范围(℃)
K, J	-100.0 ~ 500.0
T	-100.0 ~ 400.0
R	0.0 ~ 1500.0

 

5 光纤传感器的设定值及传感模式

-    具体范围根据传感模式的不同而不同

 

表3‑2 按光纤传感器类型分类的范围信息

传感模式	说明	设置范围
1	High-Speed	50 ~ 4000
2	Fast	50 ~ 4000
3	Reduce	不启用
4	Standard	50 ~ 4000
5	Standard Fine	不启用
6	Long	50 ~ 8000
7	Ultra-Long	50 ~ 9999
8	Hyper	50 ~ 9999

 

6 流量传感器的上限值/下限值

è   设置范围:-1,100 ~ 1,100 (l/min)