3.3. 监测

3.3. 监测

 

1.  进入路径

- F1.服务 -> 1:监测 -> 16:系统特性数据-> 13:真空机器人传感器数据

 

2.  设置界面

 

图3.3 传感器监测对话框

 

3.  项目说明

1 :内部温度 / 流量昂木的黄色背景

è   测量值低于设定值时(不到标准值)

2 :内部温度 / 流量项目的绿色背景

è   测量值高于设定值时（超过标准值）

3 :Glass传感项目的黄色背景

è   Glass传感状态